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2025-03-12 19:09:42

有没有什么办法实现锂的汽化，磁控溅射掺杂用？

求解有没有什么办法实现锂的汽化，磁控溅射掺杂用！
或者锂在某种无机盐中，有机物中，比如像硅烷那样有木有锂烷，以便经过某种处理实现汽化

金属材料

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你看看这样行不行，就是在溅射靶材内根据想掺杂的比率抠几个小孔，在小孔内放入锂。或者如果你们的有多个离子源可以采用多靶溅射，通过离子源调整锂靶的溅射时间。

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2025-03-12 19:11:17

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提问时间：	2025-03-12
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